Oптико-электронная система, предназначенная для 3D сканирования, измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС. Сканирующим элементом системы является 2D сканер, в основу работы которого положен метод оптической триангуляции. Сканер закреплен на перемещаемый вдоль осей платформы портал под углом для обследования отражённой зеркальной составляющей объекта, что позволяет существенно снизить мощность излучения зондирующего лазерного пучка.
Система перемещения оснащена высокоточными направляющими, винтами и шаговыми двигателями. Управление производится при помощи разработанного авторами драйвера, осуществляющего перемещение в заданную позицию. Положение сканирующего луча контролируется драйвером за счет включенного в обратную связь двух датчиков растрового типа, имеющих точность определения позиции +/-0.5 мкм.
Драйвер перемещает сканирующий 2D сканер как по осям X и Y. В конечных точках платформы установлены концевые датчики, позволяющие избежать повышенной нагрузки на драйвер при заклинивании винта.
Программное обеспечение, специально разработанное для системы, управляет процессом сканирования, осуществляет интерпретацию и преобразует набор данных к пространственным координатам.
В состав ПО входит калькулятор, который позволяет проводить необходимые вычисления для измерения высоты, линейных размеров и положения микросборок ПЗС. Интуитивно понятный интерфейс пользователя позволяет быстро провести сканирование и обработку полученных данных.
Точность измерения +/-0,5 мкм. Измерительный диапазон 250x500x40 мм.
Контрактная разработка электроники на заказ, printed circuit board design: +7 495280-79-00
